Высокотехнологические производственные процессы в сфере микроэлектроники, полупроводниковой промышленности, научной деятельности, нанесения ультратонких плёнок, плазменного травления, а также ионной имплантации немыслимы без использования вакуумных систем. Мировым лидером по созданию вакуумной среды является компания Edwards, — опыт в разработке и производстве ВН составляет более 100 лет.
На российском рынке широко представлена продукция этой компании. Вот лишь краткий список поставляемой продукции: пластинчато-роторные, турбомолекулярные, диффузионные и спиральные агрегаты, сухие винтовые и двухступенчатые вакуумные приборы.
Содержание:
- Вакуумные насосы Edwards - чем отличаются от других
- Турбомолекулярные насосы Edwards
- Диффузионные насосы Edwards
Вакуумные насосы Edwards - чем отличаются от других
Всю продукцию компании Edwards характеризует высокий профессиональный уровень её исполнения, использование высокотехнологичных компонентов и новейших технологических решений. В частности — проектирование роторов для ВН из композитных материалов, применение керамических подшипников и магнитных подвесов, использование дополнительных средств защиты от прорыва атмосферы, что положительно влияет на высокую пропускную способность при малом остаточном давлении откачиваемой газовой среды, безопасность и безотказность вакуумных систем.
Вакуумные насосы Edwards - чем отличаются от других
Вместе с этим вакуумные агрегаты Edwards выгодно отличает от других аналогов компактные размеры и высокая мощность приборов, а широкий ассортимент позволяет подобрать наиболее подходящее оборудование практически для любой задачи, как для больших производственных мощностей, так и для малых экспериментальных опытов.
Турбомолекулярные насосы Edwards
Вакуумные насосы роторного типа (ТМН) – уникальные агрегаты. Конструкция их элементарна, но вкупе с применяемыми техническими решениями делает из них надежных и мощных источников сверхвысокого вакуума в откачиваемой системе — анализ рынка выявил, что ТМН является основным типом ВН для создания глубокой вакуумной среды.
Турбомолекулярные насосы Edwards
Преимущества турбомолекулярных насосов:
- Рабочие характеристики прибора не зависят от состава откачиваемого газа, — с успехом работает в агрессивных средах. Насос не сорбирует всасываемый газ во внутренней полости, а потому в регенерации агрегата нет необходимости, что нельзя сказать о приборах диффузионного типа.
- Запуск ТМН происходит достаточно быстро — времени для введения ВН в рабочее состояние требует немногим больше 5-ти минут.
- Не требуется форвакуумной системы — запуск ТМН может производиться с атмосферы. А потому насосам этого типа не страшен прорыв атмосферы.
- Отсутствие в рабочей полости насоса элементов углеводорода. Источником последних служит смазочный материал подвижных частей насоса – шариковых подшипников. В последних моделях используется керамические шарики, магнитные подвесы или их комбинация. Трение между корпусом насоса и валом полностью нивелировано, — ресурс агрегата не ограничен.
- За счёт отсутствия трения в подвижных частях ВН энергопотребление значительно снижено.
Недостатки ТМН:
- высокая затратность;
- сложность калибровки лезвий ротора – требуется высокоточная балансировка;
- повышенный уровень шума.
Диффузионные насосы Edwards
Анализ рынка вакуумных агрегатов показала, что данная категория оборудования является оптимальной и наиболее востребованной у потребителей, как крупного производства, предприятий с небольшой мощностью, а также у индивидуальных предпринимателей и частных лиц. Это объясняется оптимальным соотношением эффективности ДН и затратами на его обслуживание.
Диффузионные насосы Edwards
Ассортимент этого оборудования достаточно широк, — разнообразие ДН позволяет использовать в различных областях: научных лабораториях, институтах, в металлургической и пищевой промышленности. Диффузионные насосы обладают большим ресурсом, недороги и способны работать днями напролёт.
К преимуществам диффузионных насосов бренда Edwards можно отнести:
- многорежимный способ работы;
- присутствие в конструкции газобалласта;
- усиленную защиту впускного клапана, что положительно влияет на работу системы в целом;
- высокую мощность – крутящий момент;
- электронная начинка позволяет полностью контролировать весь процесс откачки – возможно подключение сторонних гаджетов;
- наличие смотрового окна даёт возможность визуально производить контроль работы насоса;
- использование смазочных материалов для диффузии только высшего качества – минимизация образования углеводородов и замасливания вакуума;
- большой корпус, изготовленный из композитных материалов – уменьшение общего веса агрегата;
- отсутствие подвижных частей избавляет от балансировки, — возможность самостоятельного обслуживания;
- низкий уровень шума.
Если сравнивать диффузионный насос с ТМН, то последний выигрывает в мощности — 67 тыс. л/с у ТМН против 8 тыс. л/с у ДН. Также турбомолекулярный насос работает в более широком диапазоне вакуумной среды. Однако сложности обслуживания ТМН диффузионные насосы будут более предпочтительны.