| Производитель | ERSTEVAK |
| Страна | Российская Федерация |
| Исполнение | Элеваторная с опускающимся подом |
| Максимальная температура, °С | 1600 |
| Мощность нагрева, кВт | 63 |
| Серия | СИРИУС |
| Скорость форвакуумной откачки, м3/ч | 100 |
| Предельный вакуум, мбар | 5x10-6 |
| Рабочий вакуум, мбар | 5x10-5 |
| Высоковакуумный насос | Турбомолекулярый насос EBARA EMT22000 |
| Материал нагревателей | Молибден |
| Размеры вакуумной камеры - диаметр/высота, мм | 730/1050 |
| Размеры рабочей зоны - диаметр/высота, мм | 400/600 |
| Скорость высоковакуумной откачки, л/с | 2200 |
| Тип вакуумной системы | Сухая |
| Форвакуумный насос | Многоступенчатый насос Рутса EBARA EV-SA20 |
| Экраны | 8 экранов из молибдена, 3 экрана из жаропрочной нержавеющей стали |
