| Производитель | ERSTEVAK |
| Страна | Российская Федерация |
| Максимальная температура, °С | 1350 |
| Максимальное давление охлаждающего газа, бар | 2 |
| Масса садки, кг | 2500 |
| Мощность нагрева, кВт | 750 |
| Однородность температуры, °C | ±5 |
| Размеры рабочей камеры, мм | Ø1800х3000 |
| Серия | VOQ |
| Предельный вакуум, мбар | 5х10-3 |
| Время перемещения садки, мин | 1.2 |
| Емкость бака, л | 24000 |
| Количество рабочих камер | 2 |
| Рабочий газ | N2/Ar |
